上海東庚設(shè)備工程技術(shù)有限公司是德國(guó)寶德（BURKERT）公司長(zhǎng)期授權(quán)服務(wù)商，負(fù)責(zé)Burkert產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)的銷售并提供技術(shù)服務(wù)。產(chǎn)品包括電磁閥、過(guò)程控制閥、儀器儀表、微流量閥、氣動(dòng)產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于水處理、醫(yī)藥化工、食品飲料生產(chǎn)、氣體應(yīng)用、醫(yī)療器械和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，Burkert在全球 Fluid Control Systems 領(lǐng)域處于地位，Bürkert 公司不僅是流體技術(shù)開發(fā)商，同時(shí)也是機(jī)械生產(chǎn)、泵技術(shù)、線圈生產(chǎn)、塑料技術(shù)和焊接技術(shù)方面的專家。而且還是工具制造商、軟硬件開發(fā)商、配電和設(shè)備制造商、項(xiàng)目經(jīng)理等等。此外，Burkert還負(fù)責(zé)全球許可證。對(duì)客戶的定制服務(wù)不僅僅是單獨(dú)開發(fā)產(chǎn)品，而也包括其相關(guān)的生產(chǎn)流程和物流作業(yè)流程。為客戶訂制個(gè)性化解決方案.

• 工作原理：基于熱傳導(dǎo)原理，利用熱 MEMS 傳感器測(cè)量。傳感器直接位于氣流中，內(nèi)置加熱元件和測(cè)溫元件。當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí)，加熱元件的熱量被氣體帶走，測(cè)溫元件檢測(cè)到溫度變化（ΔT），通過(guò) ΔT 與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系，結(jié)合 PID 控制算法，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)閥門開度，實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

• 主要特點(diǎn)

• 高精度和高重復(fù)性：測(cè)量精度可達(dá) ±0.8% o.R. ±0.3% F.S.，誤差通?！?plusmn;1% F.S.，重復(fù)性達(dá) ±0.2% F.S.。

• 極快的響應(yīng)時(shí)間：響應(yīng)時(shí)間＜300ms，能快速對(duì)流量變化做出反應(yīng)，適用于動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)場(chǎng)景。

• 寬量程比：可調(diào)比為 50:1，可選 100:1，額定流量范圍為 0.010l/min 至 160l/min。

• 通信功能強(qiáng)大：可配備工業(yè)以太網(wǎng)、模擬或現(xiàn)場(chǎng)總線接口。基于 CANopen 的 Bürkert 系統(tǒng)總線（büS）版本，能方便地集成到現(xiàn)有的 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中，或與 ME43 型現(xiàn)場(chǎng)總線網(wǎng)關(guān)結(jié)合，集成到工業(yè)以太網(wǎng)或現(xiàn)場(chǎng)總線的所有通用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中，最多 32 個(gè) MFC/MFM 可連接至現(xiàn)場(chǎng)總線網(wǎng)關(guān)。

• 配置靈活：可根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC，設(shè)備最多可存儲(chǔ)四條校準(zhǔn)曲線，方便用戶針對(duì)不同氣體或應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行校準(zhǔn)和切換。還可通過(guò)配置記憶卡簡(jiǎn)化設(shè)備的更換工作。

• 應(yīng)用場(chǎng)景：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、環(huán)保、科研、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域。例如在晶圓清洗、氣相沉積（CVD）、刻蝕工藝中的氣體輸送控制，以及氫能系統(tǒng)中燃料電池的氫氣流量控制等場(chǎng)景。

• 技術(shù)參數(shù)

• 工作介質(zhì)：中性、未受到污染的氣體，根據(jù)要求也可使用其他介質(zhì)。

• 校準(zhǔn)介質(zhì)：工作氣體或空氣。

• 工作壓力：10bar（145psi），對(duì)于 MFC，最高工作壓力取決于閥門有效通徑。

• 環(huán)境溫度：-10°C 至 + 50°C，根據(jù)要求可以適用于更高的溫度。

• 防護(hù)等級(jí)：IP20。

• 工作電壓：24V DC。

• 功率消耗：1…3W（作為 MFM）。